过氧化氢是一种强氧剂，由于其很强的杀菌能力已经使用了超过100年（Schrodt，1883），早在1977年就已经被注册用于设备硬表面的消毒；1989年，美国环保署（EPA，2004a）批准了过氧化氢蒸汽作为主要消毒剂的一类消毒方法，实验证明：汽化状态的过氧化氢，其杀灭细菌芽孢的能力约大于液态过氧化氢200倍

　　这项工艺正在为许多制药企业和研究实验室提供无菌环境，还被两家美国联邦大楼用于清除炭疽污染。VHP灭菌技术1991年开始投放欧美市场并广泛应用，2000年以后，广泛应用于制药行业；目前国内也有不少的医院、疾控、实验室等领域认识到这一趋势开始广泛使用。

　　汽化过氧化氢灭菌器工作原理：在受控条件下，将35%浓度的液态过氧化氢溶液汽化产生过氧化氢蒸汽，以直接喷射、管道输送的方式对密闭空间内进行生物去污。过氧化氢在汽化过程中生成游离的氢氧基，对细胞成分（如脂类、蛋白质和DNA）进行氧化破坏，从而达到消毒的目的。在此过程中，高压风机起着重要作用，得用高压风机的送风系统，能使产生的颗粒有效到达洁净区的不同区域。

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